七星華創質量流量控制器流量計

質量流量控制器和質量流量計使 用 手 冊1. 使用須知尊敬的用戶，感謝您購買本公司生產的 D07 系列質量流量控制器/質量流量計產品。本手冊詳細敘述了正確、安全使用該系列產品的必要事項。產品使用者，請務必認真參閱本手冊并理解后使用，在使用過程中，請注意帶有 標志的文字及注意事項中包含的所有內容。對于未按照使用手冊使用造成的財產損失或人身傷害，本公司有權不承擔責任。本手冊對您安裝、維護及故障維修時，請妥善留存保管。2. 用途和特點質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM)用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為 MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。D07 系列質量流量控制器和質量流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。D07 系列質量流量控制器和質量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產品配套使用,控制器與顯示儀之間用專用電纜連接

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3. 主要技術指標表 1. D07-19B 型 MFC 性能指標編號 項 目 D07-19B1 流量規格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 準確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 線性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重復精度 ±0.2 % F.S.5 響應時間 ≤2 sec6 工作壓差范圍 ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 最大工作壓力 1 MPa8 耐壓 3 MPa (435.1 psig)9 工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃10 輸入輸出信號 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于 100K, 輸出電流不大于 3mA)11 電源 +15 V 50 mA; -15V 200 mA12 外形尺寸 見圖 413 重量 0.95 kg注意 :質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)標準狀態規定為: 溫度 --- 273.15K ( 0℃ ); 氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)在七星流量計 MFC/MFM 產品中心，單位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，單位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。 第 4 頁 共 28 頁F.S. (Full Scale): 滿量程值表 2. D07-19BM 型 MFM 性能指標編號 項 目 D07-19BM1 流量規格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 準確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 線性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重復精度 ±0.2 % F.S.5 響應時間 ≤2sec6 氣壓降 <0.02 MPa (2.9 psid)7 最大工作壓力 1 MPa8 耐壓 10 MPa (1450.4 psig)9 工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃10 輸出信號 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于 100K, 輸出電流不大于 3mA)11 電源 +15 V 50 mA－15 V 50 mA12 外形尺寸 見圖 413 重量 0.7 kg各型號產品的主要技術指標見表 1 和表 2。D07-19BM 型是 D07-19B 型的流量測量部分，同類型的 MFM 與 MFC 在流量計量部分的技術指標相同。4. 結構和工作原理4.1 結構質量流量計由流量傳感器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成；在質量流量計的基礎上，再加上調節閥門和 PID 控制電路就構成了質量流量控制器。D07-19B 型質量流量控制器, 打開外罩后的結構如圖 2 所示。

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